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TOHOのウェットステーションは、当社の持つふっ素樹脂成形加工
技術の応用展開を目的に開発され、常に進化を遂げてまいりました。
40余年に亘る技術ノウハウの蓄積により生み出された商品群は、
300㎜枚葉式洗浄装置から薬液供給装置などの周辺装置に至る
まで、お客様のニーズにきめ細かにお応えしております。
クローズアップ！
多槽式（バッチ式）洗浄装置
特徴
◇高スループット
枚葉式洗浄装置
特徴
◇省フットプリント
◇W/F面内の洗浄均一性が高い
◇使用薬液量が少ない
IPA置換乾燥装置
特徴
◇ウォーターマークの形成を抑制
◇パーティクル付着の抑制
◇ランニングコストの低減
◇高スループットの実現
