特長
安全対策
1. 接液部は、すべて高品位のフッ素樹脂及び高純度石英を使用、超純水の汚染を防ぎます。
2. 加熱部は、変換効率の良い二重構造で、高いエネルギー効率を発揮します。
3. デジタル表示の流量計を標準装備、流量監視が容易。
4. 流体の昇温立上がり時間が早い。
5. 単独使用は勿論、既設の装置との自動運転も可能。
仕様

HD-10036 HD-30072 HD-30144
Max Flow l/min 10 30 30
※outlet Temp ℃ 68±2 50±3 80±3
Maximum Service Temperature ℃ 80 80 80
Heater Volume KW 36 72 144
Electrical
(for heater)		 105A 207A 416A
AC-200V AC-200V AC-200V
3phase 3phase 3phase
Electrical
(for controler)		 5A 15A 15A
AC-100V AC-100V AC-100V
1phase 1phase 1phase
Dimension 800W×500D×1100H 1000W×800D×1800H 1800W×800D×1800H
※デジタル流量計による流量低下検知。
※温度調節器による異常加熱検知。
※液漏れセンサーによる、液漏れ検知。
※DIW入口温度20℃の値です。