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| ウォーターマークレス乾燥 Water-mark-less Drying | |
| リンス後ウェーハを大気に接触させずに、ウェーハ表面の水分を除去できる為、 ウォーターマークの形成を抑制することができます。 |
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| パーティクル付着の抑制 Repression of the particle adhesion | |
| 液中に拡散した微粒子が水の表面張力により引張られ、パーティクルが ウェーハ面へ付着することを抑制することができます。 |
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| ランニングコストの低減 Save Running Cost | |
| IPA消費量は従来のIPA蒸気乾燥に比べ１／１０程度と少なく（当社比） ランニングコストの低減ができます。 |
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| 高スループットの実現 High Through-put | |
| 乾燥時間が従来のIPA蒸気乾燥に比べ早く、高いスループットが実現できます。 | |
| 特長 |
| 乾燥原理 |
| 処理フロー |
| 性能・仕様 | |
| 外形寸法 | 580W×1,400D×1,675H |
| 外装材質 | PVC（アイボリー） |
| 処理槽 寸法 |
340W×350D×510H |
| 処理槽 材質 |
PVDF |
| IPA発生 方式 |
特殊ﾉｽﾞﾙによる常温N2とIPAの液滴供給 |
| IPA消費量 | 8〜10ml／バッチ |
| 乾燥時間 | 約8分／バッチ |
| ﾊﾟｰﾃｨｸﾙ ﾚﾍﾞﾙ |
0.12μm 10ヶ以下 |
| ｳｫｰﾀｰﾏｰｸ | 認められず |
| 対応ｳｪｰﾊｻｲｽﾞ | φ6”・φ8”・φ12”対応可 |
| ﾕﾆｯﾄﾀｲﾌﾟ | スタンドアローン・インライン |