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リフトオフ装置 (バッチ式)

リフトオフ装置 (バッチ式)

長年の研究開発により得た多くのノウハウを結集。 ダウンフローの効果により処理時間短縮と歩留まりを改善いたします。

特徴

リフトオフ剥離力の補強

・膨潤、揺動、超音波という従来の3つの剥離作用に加え強烈なダウンフローという新たな作用追加し
 4つのパワーで短時間での剥離を実現。

画期的な超音波照射システム

・独自開発した多軸駆動可能な超音波システムにより、バッチ間のムラを改善。

スラッジ回収効率UPにより循環ライン内で薬液とスラッジを完全分離

・独自開発したスラッジ回収ユニットを循環ライン内に設置。
・処理終了時に槽内に薬液を一旦全て循環ラインに落とし込む為、槽内のスラッジ残り無しを実現。

安全性に配慮された消化システム


・SEMI規格に準拠した消化システムを搭載 ・CO2ガスに加え環境に配慮したアルゴナイトガスも選択可能。

デモ環境の充実。

・関東にデモ機と評価機器を完備しておりますので、お気軽にお声をお掛けください。

仕様

種別タイプ リフトオフ装置 (バッチ式)
対象製品 MEMS、LED
対応ウェーハ/ワーク ø3inch〜ø8inch
対応ワーク薄さ 200μm〜725μm
洗浄レベル 0.2μm以上10個以下
処理方法 キャリア式、ディッププロセス、ダウンフロー
処理単位 25枚
乾燥方式 スピンドライヤー
オプション -

対応プロセス

  • リフトオフ
  • レジスト除去

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