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2流体JETノズル

2流体JETノズル

ウェーハ投入前や成膜前後の洗浄プロセス 及び超音波洗浄が不可能な洗浄プロセス用装置。純水で高精度な洗浄をご提案いたします。薄型ウェーハに対応すべく低ダメージ処理も実現しております。

特徴

高精度ノンケミカル洗浄

・薬液を使用しなくて良好な洗浄が可能。
・低環境負荷型の洗浄装置。

高レベルな洗浄能力

・従来の高圧JETやメガソニック洗浄よりも高い洗浄能力を発揮

ダメージレス洗浄

・超音波やスプレー洗浄とは違い物理的ダメージが少ない為、ウェーハ厚の薄いプロセスにも対応。

多彩なオプション

・各種後工程(エキシマUV、大気圧プラズマ等)との連載による成膜品質向上が可能。

仕様

種別タイプ スクラブ洗浄
対象製品 全般
対応ウェーハ/ワーク ø3inch〜ø8inch
対応ワーク薄さ 200μm〜725μm
洗浄レベル 0.2μm以上10個以下
処理方法 スピンプロセス、スカラロボット搬送
処理単位 1枚
乾燥方式 スピン乾燥
オプション ケミカル処理、ディスクブラシ、超音波、エキシマUV

対応プロセス

  • パーティクル除去

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