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デュアルアームロボット

デュアルアームロボット

スタックドプロセスモジュール用として低位置から高位置まで搬送

特徴

豊富なラインナップ

・RD300-570、RD300-1050、RD300-1200を取り揃える。

装置の省スペース化並びに高速搬送により、高スループット

・Z軸2段、3段式同時動作並びに高速リニアトラックにより高速搬送が可能。

テレ長尺、高速縦移動Z1200mm/s、横移動リニア1000mm/s

・Z軸2段、3段式同時動作にて一気に最上位置まで移動可能
・高速リニアトラック機構付き

仕様

種別タイプ ファクトリーオートメーション
対象製品 全般
対応ウェーハ/ワーク 300mm
対応ワーク薄さ 各ウェーハ系のSEMI規格

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