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EFEM AWL

EFEM AWL

FOUP、SMIF、オープンカセットロードポート対応 1-4port 並びにFOUP搬送、FOUPバッファーもオプション。

特徴

ラインナップ

・AWL300, AWL200, AWL100,EFEM300

ステッパー用ウェーハ搬送ローダーAWL

・低床アクセス可能。

高スループットEFEM

・高Zストローク/高速ロボットと高速リニアトラックのコンビで高スループットを実現。

SECS/GEM対応

・自動搬送制御、コマンド制御等多彩、並びにGUIでモニタリング操作可能。

仕様

種別タイプ ファクトリーオートメーション
対象製品 全般
対応ウェーハ/ワーク 50-300mm
対応ワーク薄さ 各ウェーハ系のSEMI規格
洗浄レベル 0.2μm以上10個以下

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