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薬液供給システム

薬液供給システム

製造装置側からの要求信号で薬液をセントラルユニットから造装置備付ユニットに送液させることができ、全ての薬液供給ユニットをメイン制御BOXで監視することができます。

特徴

セントラルユニット

・液容量100ℓ〜400ℓ対応。
・ストレージタンク、緊急用キャニスタ缶を設置。
・CCリンク対応。

製造装置備付ユニット

・液容量18ℓ〜100ℓ程度対応。

多彩な付帯設備

・メイン制御BOXにて、全ての薬液供給ユニットの監視が可能。
・サブモニターにて、各部屋、フロアー毎でユニットの監視が可能。
・バルブBOXにて、複数台の設備に分岐供給が可能。

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