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高温HFエッチング装置

高温HFエッチング装置

エッチング時間を短縮するために、HFまたはBHFといった薬液の高温処理を可能とし、生産性の向上に貢献いたします。

特徴

環境負荷の低減

・処理槽の自動蓋の密閉性を高め、さらに蓋内部へ冷却水を流すことにより、ケミカルの蒸発量を低減。

高精度なエッチング

・2重整流板を使用することにより、高温域における温調精度を向上。
・水晶基板へより高精度なエッチングか可能。

フレキシブルな駆動系

・自動上下揺動機構(スピード・ストローク可変)によりフレキシブルになプロセス変更が可能。

仕様

種別タイプ バッチ・ディップ式エッチング装置
対象製品 MEMS
対応ウェーハ/ワーク 〜ø4inch
オプション 乾燥機(スピンドライヤー)

対応プロセス

  • HFエッチング
  • 酸化膜エッチング

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