半導体製造装置 洗浄装置から乾燥装置、機能部品まで幅広くラインアップ

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マニュアルドラフト

マニュアルドラフト
ハイスペックからロースペックの手動機、研究開発などの用途に合わせカスタマイズ致します。

特徴

お客様のご要望にフレキシブルに対応。

・半導体をはじめ、MEMS、太陽電池、化合物等、幅広い分野での実績と、約半世紀の経験よりお客様のニーズに
 合わせた最適なカスタム装置をご提供。

徹底したコンサルティングと高い実現能力で、お客様をサポートします。

・長年培ったノウハウが、お客様の設備へフィードバック。
・最先端の技術に対する的確な仕様をご提案。

仕様

種別タイプ
対象製品 全般
対応ウェーハ/ワーク
対応ワーク薄さ
洗浄レベル
処理単位
乾燥方式 無し ※別途乾燥機ユニットとの組合せが可能です
オプション -

対応プロセス

  • 基盤洗浄
  • 多機能ドラフト
  • 各種実験
  • パーツ洗浄

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半導体洗浄装置

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