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マニュアルスピン洗浄装置(GPCシリーズ)

マニュアルスピン洗浄装置(GPCシリーズ)

本装置はガラスブランクス及びCrマスク基板のファイナル洗浄を可能にしたスピン洗浄装置です。 多彩な機能を持ち、高精度な処理が可能です。

特徴

スクラブ洗浄

ナイロンブラシ、PVAスポンジブラシによるスクラブ洗浄。ブラシを清潔に保つ、自己洗浄機能付き。

多彩な洗浄に対応

超音波洗浄、ハイプレッシャー洗浄、二流体洗浄(N2+純水)、N2ブロー

乾燥

高速スピン乾燥

静電気対策

静電気防止用CO2イオナイザー装備

クリーンブース仕様

ご要望に応じて各種クリーンブース

ケミカル処理システム

オプションでSPMなどのケミカル処理も可能です。

仕様

種別タイプ マニュアルマスク洗浄装置
対象製品 全般
対応ウェーハ/ワーク マスク基盤:4インチ〜32インチ角
ウェーハ:4〜8inch
処理単位 1枚
乾燥方式 スピン乾燥
オプション 二流体ノズル、CO2イオナイザー、ケミカル処理システム

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