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石英管洗浄装置

石英管洗浄装置

300mmサイズまでの拡散やCVDプロセスに使用する石英管洗浄装置を全自動で洗浄できる装置。省液使用量を実現した縦型石英管洗浄装置も取り揃えております。

特徴

環境負荷の低減

・回転機能による薬液使用量を低減。

安全性への考慮

・薬液雰囲気が拡散しないように考慮し自動開閉槽カバーを設置。

多様なカスタマイズ

・ご使用状況やご要望に応じて設計、製作が可能。

仕様

種別タイプ 石英管洗浄装置
対象製品 全般
対応ウェーハ/ワーク ø150〜ø300mm用石英管洗浄装置

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