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通信ソフトウェア

通信ソフトウェア

半導体製造装置用にSECS/GEM通信用機能を組み込むパッケージソフトウェア。半導体製造装置のスループット計算及びボトルネック解析のシミュレーターです。

特徴

ラインナップ:LTGem、LTXferSim


LTGem

LTGemは、半導体製造装置用にSECS (Semiconductor Equipment Communications Standard)通信用機能を組み込むパッケージソフトウェアです。 既に定義されているスクリプトを使用することによりGEM (Generic Equipment Model)規格に準拠した半導体製造装置を実現します。

LTXferSim

プロセスチャンバや搬送ロボット及びEFEM等各種の機構から構成される半導体製造装置内でのウェーハ搬送をシミュレートして、製造装置のスループット及びボトルネックを求める事ができます。

仕様

種別タイプ ソフトウエア
対象製品 全般
対応ウェーハ/ワーク 50-300mm
対応ワーク薄さ 50-300mm

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