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スピンドライヤー

スピンドライヤー

特徴

豊富なバリエーション

・ウェーハサイズ各種そろえており、さらにマニュアルタイプ、インラインタイプの選択が可能。
・MEMS、LED研究用に便利な卓上タイプも有り。

コンタミネーション対策

・軸受部は特殊シール構造を採用し、摺動部からのコンタミネーションを防止
・厳選された材質と高い加工技術によりウェーハへの悪影響を完全にシャットアウト。

ウェーハストレスの低減

・割れやすいウェーハへのストレスを低減出来るダメージレスシステムを開発。(オプションにて対応)

仕様

種別タイプ スピンドライヤー
対象製品 全般
対応ウェーハ/ワーク ø3inch〜ø8inch
対応ワーク薄さ 150μm〜725μm
洗浄レベル パーティクル=0.2μm以上10個以下
処理単位 バッチ式=1〜4キャリア
卓上型=1枚
乾燥方式 スピン乾燥
オプション @オートバランサー
A異口径ウエハ兼用
Bダメージレスシステム
Cオートダンパー
Dイオナイザー

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