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露光装置ステッパー

露光装置ステッパー

超高深度ステッパーで、高段差デバイス/厚膜レジスト対応

特徴

厚膜レジスト並びに超高深度露光

100-500um深度を実現

解像力0.5-10um

NA可変機構、3種類のレンズ組合せにて、解像力を広くカバー

仕様

種別タイプ 露光装置
対象製品 全般
対応ウェーハ/ワーク 50-300mm
対応ワーク薄さ 各ウェーハ系のSEMI規格

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半導体洗浄装置

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