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テクスチャーエッチング装置

太陽電池セル用製造装置テクスチャーエッチング装置

シリコンウェーハ表面にテクスチャー構造を形成、アルカリ処理または混酸処理を行った後、リンス・乾燥まで自動で処理します。

特徴

強酸、強アルカリ処理に対応した装置

半導体製造におけるウェットプロセス工程で培った耐強酸、耐強アルカリのノウハウと実績、また、自社の保有技術であるフッ素加工技術、フッ素特性を知り尽くした装置製作をしています。

省液、省エネを考慮した装置設計

大量の薬液、リンス液を使用する処理工程のため、ランニングコストを抑える省液、省エネを考慮した装置設計を行っています。最適な処理槽形状、システムを日々追求しています。

太陽電池セルの薄型対応

太陽電池セルが益々薄くなり、ウェーハ同士の引っ付き問題が顕在化しています。セル搬送時に一工夫することで引っ付き問題を解決

インライン化

工場搬送システムと接続することで前後の工程ライン間と自動で連結。工場とのデータ通信により、生産管理の向上へ繋げます。

仕様

種別タイプ テクスチャーエッチング装置
対象製品 太陽電池
対応ウェーハ/ワーク □125〜155o、ø4"〜6"s
対応ワーク薄さ 150μm〜
処理方法 キャリア式、ディップ式
処理単位 200枚
乾燥方式 熱風乾燥
オプション -

対応プロセス

  • テクスチャーエッチング

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