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ウェーハ移載機

ウェーハ移載機

搬送用カセットと洗浄用カセット間での移し替えや、プロセスでのカセット移し替え、オリフラ/Vノッチ合わせ等、幅広いフィールドで活躍。

特徴

豊富なバリエーション

・ウェーハサイズ各種そろえており、さらにマニュアルタイプ、インラインタイプの選択が可能。
・用途により1ステージ仕様と2ステージ仕様(テーブルスライド方式)の選択が可能。

安全稼動という高い信頼性

・ウェーハに対して低ストレスな移し替えを実現、ウェーハの破損やチッピングを防止。

多彩なオプション

・Face to Face / オリフラ合わせ / Vノッチ合わせ機構をオプションで搭載可能。

仕様

種別タイプ ウェーハ移載機
対象製品 全般
対応ウェーハ/ワーク ø4nch〜ø8inch
処理単位 25枚、50枚
オプション Face to Face / オリフラ合わせ / Vノッチ合わせ機構

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