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Vapor式IPA置換乾燥機

vapor式IPA置換乾燥機

特徴

複雑なウェーハパターンに強い乾燥機

・MEMSやLEDデバイスにおける複雑な形状のパターンでも高精度の乾燥が可能。
・深堀パータンにありがちなスティッキング問題に別途対応可能。

安全性に配慮された消化システム

・SEMI規格に準拠した消化システムを搭載 ・CO2ガスに加え環境に配慮したアルゴナイトガスも選択可能。

高いパーティクル付着制御

・0.2μm以上10個以下の高いパーティクル制御能力

仕様

種別タイプ IPA置換乾燥装置
対象製品 MEMS、LED、他全般
対応ウェーハ/ワーク ø4inch〜ø8inch
対応ワーク薄さ 200μm〜725μm
洗浄レベル パーティクル=0.2μm以上10個以下
処理単位 25枚
乾燥方式 IPA置換
オプション ・消火器
・排液のIPA濃度管理

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