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Vaporless式IPA置換乾燥機(TMD)

Vaporless式IPA乾燥機(TMD)

自社で開発したウォーターマークレス乾燥機。150mm〜300mmに対応し、スタンドアローン・インライン両タイプご準備し、多彩なラインナップをご提供。また低IPA消費量により環境負荷の低減にも寄与しています。

特徴

ウォーターマークレス乾燥

リンス後ウェーハを大気に接触させずに、ウェーハ表面の水分を除去できる為、ウォーターマークの形成を抑制することができます。

パーティクル付着の抑制

液中に拡散した微粒子が水の表面張力により引張られ、パーティクルが  ウェーハ面へ付着することを抑制することができます。

ランニングコストの低減

IPA消費量は従来のIPA蒸気乾燥に比べ1/10程度と少なく(当社比)  ランニングコストの低減ができます。

高スループットの実現

乾燥時間が従来のIPA蒸気乾燥に比べ早く、高いスループットが実現できます。

仕様

種別タイプ IPA置換乾燥装置
対象製品 メモリ、LSI、ディスクリート
対応ウェーハ/ワーク ø150〜ø300mm
対応ワーク薄さ 525〜725um
洗浄レベル 0.2μm以上10個以下
処理単位 25枚、50枚
乾燥方式 IPA置換乾燥
オプション ・消火器
・排液のIPA濃度管理

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