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Batch type Cleaning Hood  バッチ式（酸・アルカリ系） ・高スループット |
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Batch type Cleaning Hood バッチ式（有機溶剤系） ・高スループット |
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Single Wafer（Dip type）Cleaning Hood 枚葉ディップ処理 |
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One-Bath Batch type Cleaning Hood ワンバス式 |
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Single（Dip）＆ Batch type Wafer Cleaning Hood 枚葉式＋バッチ式 混載 |
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Single Wafer （Dip ＆ Spin Type）Cleaning Hood 枚葉式洗浄 ・省フットプリント ・W/F面内の洗浄均一性が高い ・使用薬液量が少ない |
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Manual Hood マニュアルフード |
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IPA置換乾燥装置 IPA Dryer ・ウォーターマークの形成を抑制 ・パーティクル付着の抑制 ・ランニングコストの低減 ・高スループットの実現 |
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S/D（スピンドライヤー） Spin Dryer 高い乾燥能力と低パーティクルを実現 研究レベルから最先端量産ラインまでの豊富なバリエーション |
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IPA V/D IPA Vapor Dryer |
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移載機 Wafer Trasfer |
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超純水加熱装置 Ultra DIW Heating Unit 超純水の水質を維持し、連続的に安定した高温水を供給。 |
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薬液供給装置 Chemical Supply System |
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石英管洗浄装置 Tube Clean Hood |
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石英管保管庫 Tube Stage Boat Stage |
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パーツ保管庫 ｔube Stage Boat Stage |
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ハンドウォッシャー hand washer |
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