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超純水及び高純度薬液プロセスに対応した 高性能流量計 |
| 最先端プロセスで培った洗浄装置製造 ノウハウを配管部分にフィードバック！ |
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| Pipe Components Featuring the Advanced Know-How Accumulated in Cleaning DeviceProcesses! |
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超純水及び高純度薬液プロセスに対応した 高性能流量計 |
| 最先端プロセスで培った洗浄装置製造 ノウハウを配管部分にフィードバック！ |
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| Pipe Components Featuring the Advanced Know-How Accumulated in Cleaning DeviceProcesses! |
| 「TOHO FLOW METER」は、最先端半導体プロセスにおける超純水、 高純度薬液プロセスに対応した高性能流量計です。 洗浄装置をはじめとする、各種薬品、純水の自動供給システムに最適です。 |
| 特長 Strong Point |
| ・完全クリーン化対応 Complete Cleanliness |
組立前に各パーツを完全に洗浄し、組立はクリーンルームの クリーンベンチ内で行っているため、コンタミネーションの 心配はありません。 |
| ・優れた耐薬品性 Excellent ChemicalResistance |
接液部には全てフッ素樹脂を使用しているため、ほとんどの 化学薬品に侵されません。 |
| 仕様 Specifications |
| 形式 Type |
0.05MPaに おける最大流量 （ｌ /min） |
材質 Materials |
接続口径 Connection diameter PT(メス） （Inch) |
テーパー管長 Tater pipe length |
| 本体部 Main unit |
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| FM-451 （薬液用） |
30 | PTFEorPCTFE | 3/4 | 仕様により 異なる |
| FM-461 （純水用） |
30 | PTFE | 3/4 | |
| FM-461 （純水用） |
40 | PTFE | 1 |
| 45 | 薬液用 |
| 46 | 純水用 |
| 1 | PTFE |
| ・半導体工業分野における、ウエハーの 自動洗浄、自動 エッチングにおける 流量コン トロール用分析機器工業分野用 ・その他各種理化学機器 関係用 |
・Fluid level control for automatic wafer cleansing and etching in semiconductor production. ・Analytical devices ・Other scientific equipment |
| 性能 Performance |
| 名称 Name |
材質 Materials |
| 1.本体 | ＰＴＦＥ |
| 2.パッキン | Ｆゴム |
| 3.押え板 | ＰＶＣ |
| 4.支柱 | ＳＵＳ−３０４ |
| 5.ナット | ＳＵＳ−３０４ |
| 6.テーパ管 | ＰＣＴＦＥ or ＰＦＡ |
| 7.フロート | ＰＴＦＥ |
| 名称 Name |
材質 Materials |
| 1.本体 | ＰＴＦＥ |
| 2.パッキン | Ｆゴム |
| 3.押え板 | ＰＶＣ |
| 4.支柱 | ＳＵＳ−３０４ |
| 5.ナット | ＳＵＳ−３０４ |
| 6.テーパ管 | パイレックス |
| 7.フロート | ＰＴＦＥ |
| 薬液用 ＦＭ−４５１ |
| 純水用 ＦＭ−４６１ |
