精密温度・濃度コントロールに最適な
微流量調整可能なディスペンスポンプ
最先端プロセスで培った洗浄装置製造ノウハウを
洗浄プロセスパーツにフィードバック！
Cleaning Process Parts Designed Using
the superior Process Technologies of
Our Cleaning Devices!
「TOHO　DISPENSE　PUMP」は、最先端半導体プロセスにおける、
スパイキングポンプ、微流量調整可能な定量ポンプとして
高純度の液体供給を目的として、開発されたポンプです。
特長 Strong Point
・優れた
　　耐薬品性
Excellent　Cemical
Resistance		 接液部はすべてフッ素樹脂を使用している為、純水の他ほとんどの
化学薬品に侵されません。
・微流量調整設計
Precise　Adjustment
of　Small　Flow
Amounts		 微流量調整を可能とした設計を行っており、容易な調整で簡単に流量
調整ができます。
・精密濃度、
　温度ｺﾝﾄﾛｰﾙ
Precise　Density
and　Temperature
Control		 弊社「HOT　BATH」と組み合わせてご使用頂くと、より高い精度の濃度、
温度コントロールが実現できます。
仕様概要　Specifications
吐出量ml／ストローク
Discharge amount		 20ml±5％
使用液温度（℃）
Applicable temperature　		 R.T
最大ストローク長
Max.stroke length　　		 15mm
供給エアー圧力
Feed air pressure　		 0.3MPa
ポンプ接続口径
Pump connection diameter　		 6mm
供給エアー接続口径
Feed air connection diameter　		 6mm