 |
次世代半導体拡散プロセスをリードする高性能配管継手 |
| 最先端プロセスで培った洗浄装置製造ノウハウを 配管部品にフィードバック！ |
|
| Pipe Components Featuring the Advanced Know-How Accumulated in Our Cleaning Device Processes! |
|
次世代半導体拡散プロセスをリードする高性能配管継手 |
| 最先端プロセスで培った洗浄装置製造ノウハウを 配管部品にフィードバック！ |
|
| Pipe Components Featuring the Advanced Know-How Accumulated in Our Cleaning Device Processes! |
| 「ＴＯＨＯ ＴＵＢＥ ＦＩＴＴＩＮＧ・ＳＱタイプ」は、最先端半導体拡散プロセスにおけるクリーン度、 ガスシール性、ホールド性等の高度なニーズにお応えすることを目的に開発された、フッ素 樹脂製高性能配管継手です。 |
| 特長 Strong Point |
| ・拡散炉専用仕様 Special Diffusion Oven Specifications |
拡散炉の石英炉心管と外部燃焼装置の接続用に開発された 専用設計継手です。 |
| ・高いガスシール性 ・保持性 Excellent Gas Sealing and Holding Characteritics |
石英炉心管接続側の懐が長くなっており、保持性に優れ、 又、石英管とフェルールのくいつきがよくガスシール性に 威力を発揮します。 |
| ・豊富なラインナップ A Wide Line-up |
標準仕様はもとより、異径タイプなどのオーダーメイド品にも 対応した豊富な製品ラインナップ。 |
| ・高い施工性 Easy Installation |
工具を用いず施工でき、チューブや石英炉心管への加工は 一切不要です。 |
| 石英管サイズ（外径） Quartz Tube Size(O.D) |
チューブサイズ（外径） Tube Size(O.D) |
| 10mm | 1/4 Inches |
| 12mm | 3/8 Inches |
| 14mm | 10mm |
| 形式 Type |
SQタイプ |
| 本体 Body |
PTFE |
| ナット Nut |
PTFE |
| フェルール Ferrule |
PTFE |
| 形式 Type |
SQタイプ |
| 最高使用圧力 Max.Operating Pressure |
0.2MPa 使用温度により変化あり |
| 真空到達度 Max.Vacuum |
3.0×10-3torr |
| リーク試験 Leak Test |
7.18×10-6atm・cc/sec |
| O.D mm |
| 10 |
| 12 |
| 14 |
| O.D Inch |
| 1/4 |
| 3/8 |
| 10 |
| ウェッジ （スジ切り無） |
W |
| ユニオン | I |
| エルボ | L |
| ティ | T |
