次世代半導体プロセスをリードする高性能手動弁
最先端プロセスで培った洗浄装置製造
ノウハウを配管部品にフィードバック！
Pipe Components Featuring the Advanced
Know-How Accumulated in Our Cleaning
Device Processes!
「ＴＯＨＯ　ＭＡＭＵＡＬ　ＶＡＬＶＥ」は、最先端半導体プロセスに
おけるクリーン度、耐薬品性、耐熱性等の高度なニーズにお応え
することを目的に開発された、フッ素樹脂製マニュアルバルブです。
特長 Strong Point
・優れた耐薬品性
Excellent Chemical Resistance)		 接液、接ガス部はすべてフッ素樹脂を使用している為、
ほとんどの化学薬品、溶剤に侵されません。
・高性能設計
High-Performance Design		 薬液・ガス等流体を問わず安定して使用できます。又、
コンパクト設計で取付場所を選びません。
・高い施工性
Easy Installation		 小型、軽量設計で施工性が良く、工具を用いず施工
できます。
型式 オリフィス径
（m/m）		 仕様
耐圧
（MPa）		 耐熱
温度
（℃）		 材質 接続口径　
本体 弁棒 ウェッジタイプ
O.D Inch) （O.D mm）
EV-261
ストレート
タイプ		 3 0.2 -10〜110 PTFE PTFE or PCTFE 1/4 10
12
EV-262
アングル
タイプ		 3 0.2 -10〜110 PTFE PTFE or PCTFE 1/4 10
12
型式
 　オリフィス径
（m/m）		 仕様
耐圧
（MPa）		 耐熱
温度
（℃）		 　材質 　接続口径　
本体 ダイヤ
グラム		 PTネジﾞ
（メス）
（Inch）		 ウェッジタイプ フレアー
タイプ
（O.D Inch)
（O.D Inch) （O.D mm）
TV-261
ストレート
タイプ		 5 0.2 -10〜110 PTFE PTFE 1/4
3/8		 1/4
3/8		 10 1/2
3/4
TV-262
アングル
タイプ		 5 0.2 -10〜110 PTFE PTFE 1/4
3/8		 1/4
3/8		 10 ―
TV-013
ストレート
タイプ		 13 0.2 -10〜110 PTFE PTFE 1/2 1/2 10 1/2
3/4
仕様　Specifications
［トグルバルブ］
［ＥＶバルブ］
構造図　Structure
用途 Applications

［トグルバルブ］
・ワンタッチ操作で開閉できる簡単な小型ストップバルブとして、各種試験装置の
薬液サンプリングライン等に利用できます。
［ＥＶバルブ］
・半導体拡散用不純物源（Ｅｘ、ＢＢｒ３、ＢＣｌ３）または気相成長用ソース（Ｅｘ、ＳｉＣｌ４）
等のサーキュレーターのＩＮ、　ＯＵＴ側のノズルのストップバルブとして、サーキュレーター
の取付け、取外し及び液の補給が容易に行えます。
・不使用時には容器をそのまま冷蔵保管ができ、その他簡単な配管のストップバルブ
として使用できます。