| 最先端洗浄プロセスに対応した精密 温度コントロールバス |
| 最先端プロセスで培った洗浄装置製造ノウハウを 洗浄プロセスパーツにフィードバック！ |
| Cleaning Process Parts Designed Using the Superior Process Technologies of Our Cleaning Devices! |
| 「ＴＯＨＯ ＨＯＴ ＢＡＴＨ」は最先端半導体プロセスにおける高温薬液処理の精密温度コントロールを 可能にした石英製温度コントロールバスです。 ＴＯＨＯが得意分野とする高温薬液処理洗浄装置のノウハウをフィードバックし、弊社ディスペンス ポンプとの組み合わせにより酸ハクリ、有機ハクリ、ＡＰＭ、ＨＰＭ処理等において安定した洗浄プロ セスをご提供致します。又、窒化膜のエッチングにかかせないボイリングポイントの適切な温度、 濃度コントロールと安定したエッチングレートを実現することができます。 |
| 特長 Strong Point |
| ・均一で安定した温度制御 Umiform,Stable Temperature Contorol |
当社独自の内槽５面、外槽５面、計１０面ヒーターにより槽全体を 均一に加熱、安定した温度コントロールを実現します。 |
| ・精密温度コントロール Precise Temperature Control |
各ヒーター面に温度コントロール用センサーを取り付けることにより、 ヒーター毎の温度コントロールが可能。プロセス状況に応じた適切な 温度調整により、精密な温度管理が実現できます。 |
| ・高い安全性 Super Safety |
加熱防止用センサーを各ヒーター面に取り付けていることにより、 ヒーター毎に安全な温度コントロールが可能です。 |
| ウエハーサイズ とキャリア数 |
φ8”× 1キャリア （52枚） |
φ8”× 2キャリア （50枚） |
φ8”× 1キャリア （25枚） |
φ6”× 2キャリア （50枚） |
φ5”× 2キャリア （50枚） |
| サイズ（内寸） L×W×H（mm） Size |
430×270×286 | 630×330×280 | 300×300× 275〜272 |
260×400×260 | 220×400×245 |
| 液量 Fluid amount |
33ｌ | 58ｌ | 24ｌ | 27ｌ | 21ｌ |
| ﾋｰﾀｰ容量 Heater capacity |
5kw | 9kw | 5kw | 4kw | 3.8kw |
| 電源 Power source |
200V | ||||
| 仕様温度範囲 Applicable temperature range |
常温〜162℃ |
| 槽材質 Tank material |
石英ガラスorSUS316 |
| 外装 Outer covering |
PVDFofSUS |
| 発熱体 Heater |
ラバーヒーター（石英槽に接着） |
