最先端ウエハー乾燥プロセスに対応した高性能スピンドライヤー
最先端プロセスで培った洗浄装置製造ノウハウを洗浄プロセス
パーツにフィードバック！
Cleaning Process Parts Designed Using the Superior Process
Technologies of Our Cleaning Devices!
「TOHO　SPIN　DRYER」は最先端半導体プロセスにおけるウエハー洗浄後の
乾燥に適した急速乾燥装置です。TOHOが長年培ってきた洗浄・乾燥技術により
高い乾燥能力と低パーティクルを実現すると共に豊富なバリエーションにより、
研究レベルから最先端量産ラインまで幅広いフィールドで活躍しています。
特長 Strong Point
・豊富な
　バリエーション
Wide　Variation		 ウエハーサイズﾞφ8",φ6",φ5",φ4",φ3"用を
ご用意しており、さらにマニュアルタイプ、インラインタイプの選択が可能です。
コンタミネーション
　　　　　対策
Contamination　Resistant		 軸受部は特殊シール構造を採用しており、摺動部からのコンタミネーションを
防止しております。又、厳選された材質と高い加工技術によりウエハーへの
悪影響を完全にシャットアウトしています。
・充実した装備
Completely　Ewuipped		 ULPAフィルター、自動扉開閉装置、イオナイザーが標準装備されており、高い
信頼性をお約束致します。
・安定した
　　回転数制御
Safe　Revolution　Control		 モーター駆動を直接ターンテーブルに伝えダイレクトドライブ方式の採用と
インバータ制御により、安定した回転数制御が可能です。
・安全対策
Super　Safety		 オートドアロック機構等の安全機構により高い安全性を実現しています。
処理能力 φ8" φ6" φ5" φ4" φ3" φ4",3",2"兼用
ﾀｰﾝ
ﾃｰﾌﾞﾙ		 材質 SUS-316 PTFE
ｸﾚﾄﾞｰﾙ 2キャリア ――
ﾁｬﾝﾊﾞｰ SUS-316 P.V.C
回転数 Max.1,000rpm Max.3,000rpm
回転調節 インバーター 回転ボリューム
上蓋 開閉機構 エアシリンダーによる
自動開閉		 手動
フィルター ULPAフィルター ――
静電気防止 イオナイザー ――
電源 AC200V3P、AC100V AC100V
仕様概要　Specifications
［研究試作用スピンドライヤー］
マニュアルピンセットで簡単にセットでき、研究用として最適です。
特長
・コンパクト設計
　寸法φ370×344H
　（フタ閉時）とコンパクトなボディー設計です。
・持ち運び可能な軽量設計
　重量24ｋｇと軽量の為、使用場所を選びません。
・複数枚処理
　φ2”１２枚、φ3”６枚、φ4”４枚の同時処理が
　可能です。
オプション　Options
・オートバランサーシステム搭載機、振動センサー搭載機もご用意しています。
・４キャリアタイプ、異口径ウエハー兼用タイプについてもご相談に応じています。