半導体洗浄装置
拡散前洗浄装置
RCA洗浄装置
各種洗浄装置
酸化膜エッチング装置
窒化膜除去装置
各種エッチング装置
レジスト剥離装置
リフトオフ装置
etc・・・
* 枚葉式、多槽式、
ワンバス式、キャリアレス式
機能部品
HOT BATH
フッ素樹脂マニュアルバルブ
エアオペレートバルブ
ディスペンスポンプ
流量計(フローメーター)
フッ素樹脂製配管継手
etc・・・
乾燥装置
IPA置換乾燥装置
S/D(スピンドライヤー)
IPA V/D
周辺装置
移載機
超純水加熱装置
薬液供給装置
石英管洗浄装置
石英管保管庫
パーツ保管庫
ハンドウォッシャー
etc・・・
電子機器部門は半導体洗浄処理のノウハウと制御技術に加え、成形加工技術と表面処理部門の耐蝕技術を融合し、いち早く半導体製造
装置の開発・製品化に取り組んできました。その活躍の場はシリコンウエハ製造やウエハ製造における洗浄工程から液晶の基板洗浄工程
にまで及び、半導体業界や液晶業界に大きく貢献しています。現在、TOHOはよりグローバルな海外展開を図り、欧米・アジア諸国へ多くの
製品を輸出。常にリーディング・テクノロジーを世界に送り出しています。
左記フローの赤色の工程に当社の洗浄技術が活かされております。